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PRODUCTS CENTER當前位置:首頁產品中心半導體材料表面處理設備實驗室等離子清洗機PC-3D等離子清洗機
產品型號:PC-3D
更新時間:2024-07-01
廠商性質:生產廠家
訪 問 量 :4883
18811199509
產品分類
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1.公司自主研發*等離子體技術,松下高精度數字真空壓力表能實時檢測顯示艙體內真實真空度,提供工藝 參數里壓力值的計量依據
2.不銹鋼腔體,內置電極板無污染,連體艙門更方便和更美觀,艙體、閥體,管路采用耐用防腐蝕材料;
3.采用電容式等離子激發,真空室等離子體分布均勻,處理效果好,可重復性;
4.控制系統:5寸彩色觸摸屏英文互動操作界面,自動控制并監測儀器運行參數狀態,設置數據可存儲追溯。
5.PLC全自動控制全流程,采用施耐德,歐姆龍等進口品牌電器元件,可在線設定,修改監控真空壓力,處理 時間,等離子功率等工藝參數,即可一鍵啟動,連續重復運行,J確控制試驗時間、真空度、功率等重要參 數,程序內設多項安全保護,防止誤操作,對人和儀器做到大保護;
6.手動、自動兩種模式任意切換,手動模式用于實驗工藝的模擬,自動程序用于批量處理樣品。
7.可預置多個實驗參數,簡化操作,提高效率。編好程序自動完成整個實驗過程;
8.使用成本低,無需進行特殊維護,在日常使用中保持儀器清潔即可應用領域;
9.安全保護:當射頻模塊發生溫度異常升高時,可以自動感知并停止射頻模塊工作,保護樣品,提高設備安全 和穩定性;
10:采用45度傾斜角操作面板設計,人性化操作界面操作起來方便舒適
技術參數:
序號 | 型號 | PC-3S | PC-6S | PC-3D | PC-6D |
1 | 射頻電源 | 40KHz | 40KHz | 40KHz | 40KHz |
2 | 艙體容積 | 3L | 5L | 3L | 5L |
3 | 射頻功率 | 0-200W可調 | 0-200W可調 | 0-200W可調 | 0-200W可調 |
4 | 時間設定 | 1-99分59秒 | 1-99分59秒 | 1-99分59秒 | 1-99分59秒 |
5 | 壓力穩定時間 | 120秒 | 120秒 | 120秒 | 120秒 |
6 | 真空度 | 101par | 101par | 101par | 101par |
7 | 真空泵 | 抽速8m3/h | 抽速8m3/h | 抽速8m3/h | 抽速8m3/h |
8 | 電 源 | AC220V 50/60HZ | AC220V 50/60HZ | AC220V 50/60HZ | AC220V 50/60HZ |
9 | 整機電流 | <3A | <3A | <3A | <3A |
10 | 激發方式 | 電容式 | 電容式 | 電容式 | 電容式 |
11 | 氣體控制 | 單浮子流量計 | 單浮子流量計 | 雙浮子流量計 | 雙浮子流量計 |
12 | 艙體尺寸 | D265X?95mm | D265X?145mm | D265X?95mm | D265X?145mm |
13 | 艙體材料 | 不銹鋼 | 不銹鋼 | 不銹鋼 | 不銹鋼 |
14 | 外形尺寸L*W*H | 500*300*300MM | 500*350*350MM | 500*300*300MM | 500*350*350MM |
15 | 整機重量 | 15kg | 20kg | 15kg | 20kg |
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