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PRODUCTS CENTER當前位置:首頁產品中心半導體材料表面處理設備等離子清洗機PC-5S實驗室等離子清洗機
產品型號:PC-5S
更新時間:2024-09-29
廠商性質:生產廠家
訪 問 量 :652
18811199509
產品分類
PRODUCT CLASSIFICATION產品特點:
1. 5寸彩色觸摸屏操作界面,采用45°傾斜角度設計,符合人體工程學,操作簡單友好。
2. PLC自動監測控制工藝參數,參數可存儲,手動、自動兩種模式任意切換。
3. 艙門,流量計內凹式設計,防止不小心磕碰損壞,更大氣美觀。
4. 松下高精度數字真空壓力表,實時檢測顯示艙體內真實真空度,提供論文真實數據。
5. 氣體浮子流量計或質量流量計(MFC),可對多種氣體精準控制。
6. 不銹鋼或石英真空艙體可選,艙體管路采用耐腐蝕材料。
7. 進氣端口,氣體返填端口均配有高效過濾器,有效過濾空氣中的污染顆粒及水分。
8. 真空泵配有油霧過濾器,可有效隔絕油氣溢散,保護實驗環境。
9. 使用成本低,無需進行特殊維護,日常使用中保持儀器清潔即可。
10. 具備優良的安全保護措施,射頻模塊溫度異常升高時,自動關閉電源,保護樣品,提高設備安全性和穩定性。
等離子清洗機應用領域,納米材料學,半導體,微電子,光學,電子學,微流控生物學,石墨烯,再造醫學等領域
技術參數
型號 | FW-6S |
射頻電源 | 40KHZ |
射頻電源功率 | 0-200W |
匹配器 | 自動匹配 |
激發方式 | 電容式 |
艙體容積 | 5L |
艙體尺寸 | D245mm*?155mm |
艙體材質 | 不銹鋼或石英 |
載物板尺寸 | L245mm*W155mm |
高效過濾器 | 最小過濾0.22um |
氣體控制 | 浮子流量計或質量流量計(MFC) |
氣體壓力穩定時間 | 60s |
工作時間設定 | 1秒-99分59秒可調 |
真空度 | 100par |
真空泵 | 抽速8m3/h |
電源 | AC220v5060HZ |
產品尺寸 | L41*W38*H50cm |
包裝尺寸 | L49*W46*H58cm |
整機凈重 | 13kg |
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